Dải đo (X×Y×Z):
+ Vùng đo : 300×200×190 mm
+ Vùng đo WLI*1: 215×200×190 mm
Bộ đầu quang WLI:
+ Trường nhìn (H×V): ống kính 5X: ~ 0.64×0.48 mm / ống kính 10X: ~ 0.32×0.24 mm / ống kính 25X: ~ 0.13×0.10 mm / ống kính 50X: ~0.064×0.048 mm
+ Độ lặp Z: 2σ≤ 0.08 µm
Đầu quang học
+ Hệ thống thay đổi độ khuếch đại: Mức công suất có thể lập trình 1X-2X-6X
+ Thiết bị hình ảnh: B&W CCD (1/2 in)
+ Độ chính xác đo *2: E1X, E1Y: (0.8 + 2L/1000) µm; E1Z: (1.5 + 2L/1000)µm; E2XY: (1.4 + 3L/1000)µm