Phạm vi đo (X×Y×Z): 400x400x250 mm
Tải tối đa: 30 kg
Khối lượng máy chính (Bao gồm cả đế phụ đặc biệt): 640 kg
Độ chính xác đo:
+ EUX,MPE/EUY,MPE = (0.8+2L/1000) µm
+ EUZ,MPE = (1.5+2L/1000) µm
+ EUXY,MPE = (1.4+3L/1000) µm
Độ chính xác đo TP: EX,MPE/EY,MPE/EZ,MPE= (1.7+3L/1000) µm
Độ phân giải của thang đo: 0.02 µm
Độ lặp lại LAF: σ≤ 0.8
Bộ chiếu sáng: Chiếu sáng đường viền: LED trắng; Chiếu sáng bề mặt thẳng đứng: LED màu PRL: LED màu
Hệ thống thay đổi độ khuếch đại: Mức năng lượng có thể lập trình 1X-2X-6X
Theo dõi thiết bị lấy nét tự động: Có
Chức năng bù nhiệt: Tự động