Dải trục X: 0-23.62in 0-600mm
Dải trục Y: 0-25.59in 0-650mm
Dải trục Z: 0-9.84in 0-250mm
Độ phân giải: 0.02µm
Độ phân giải Z scale dùng chế độ tự động lấy nét (TAF): 0.3µm
Camera: Camera CCD độ nhạy cao B&W
Độ chính xác: E1xE1y-(1.5+3L/1000)µm
E1z-(1.5+4L/1000)µm
E2xy-(2+4L/1000) µm
Tốc độ truyền động: 200mm/s
Chiếu sáng: Surface-White LED
Contour- White LED
Programmable Ring Light- White LED
Hệ thống đổi độ phóng đại: turret được lập trình (1x2x6x)
Kích thước kính stage: 27.4x29.8in 697x758mm
Chiều cao phôi tối đa: 9.8in 250mm
Trọng lượng tải tối đa: 88lbs 40kg
Kích thước: 51.5x78.1x70.6in 1309x1985x1794mm
Trọng lượng: 3196lbs 1450kg
Optional accessories:
Tự động lấy nét bằng laser
Rotary Index