Máy đo quang học MITUTOYO Hyper QVWLI 606 (600×650×220 mm)

Dải đo (X×Y×Z):

+ Vùng đo : 600×650×220 mm

+ Vùng đo WLI*1: 515×650×220 mm

Bộ đầu quang WLI:

+ Trường nhìn (H×V): Lens 5X: ~ 0.64×0.48 mm /Lens 10X: ~  0.32×0.24 mm / Lens 25X: ~ 0.13×0.10 mm / Lens 50X: ~0.064×0.048 mm

+ Độ lặp Z: 2σ≤ 0.08 µm

Đầu quang học

+ Hệ thống thay đổi độ khuếch đại: Mức năng lượng có thể lập trình 1X-2X-6X

+ Thiết bị hình ảnh: B&W CCD (1/2 in)

+ Độ chính xác đo *2: E1X, E1Y: (0.8 + 2L/1000) µm; E1Z: (1.5 + 2L/1000)µm; E2XY: (1,4 + 3L/1000)µm