Độ phân giải: 0.1 µm
Tùy chọn gốc: Theo dõi lấy nét tự động (TAF)
Camera CCD độ nhạy cao: Camera CCD đen trắng
Chiếu sáng đường viền: LED trắng
Chiếu sáng đồng trục: LED trắng
Chiếu sáng PRL (1) 4 góc phần tư: Đèn LED trắng
Phạm vi (trục X, Y, Z) với Đầu đo: 1000x1000x150 mm
Hệ thống thay đổi độ khuếch đại: Mức năng lượng có thể lập trình 1X-2X-6X (PPT)
Tốc độ truyền động trục tối đa X, Y: 400 mm/s
Độ chính xác E1: (1.5+0.3L/100) μm
Kích thước kính bàn đo: 1186 x 1186 [mm]