Dải đo (X × Y × Z): 9.84"x 7.87"x 7.87" (250 × 200 × 200mm)
Đơn vị độ phân giải / tỷ lệ: 0.1μm / bộ mã hóa tuyến tính loại phản xạ
Chiếu sáng:
Đèn stage phản xạ dọc: Đèn LED trắng
Đồng trục: Đèn LED trắng
Đèn vòng lập trình: Đèn LED trắng
Đo độ chính xác:
Trục E1 X / Y: (2 + 3L / 1000) μm
Trục E1 Z: (3 + 5L / 1000) μm
Độ lặp lại LAF: σ: 0.4μm
Kích thước kính stage: 12.28 "x 10.59" (312 x 269mm)
Mức tải tối đa: 33lbs. (15kg)
Kích thước: 23.07 "x 33.35" x 60.16 "(586 x 847 x 1528mm)
Trọng lượng (bao gồm chân gắn máy): 595lbs. (270kg)
Phụ kiện mua thêm:
Tiêu cự điều chỉnh bằng laser
Rotary Index