Tùy chọn gốc: - Theo dõi lấy nét tự động (TAF)
Phạm vi đo (X×Y×Z): 400 x 400 x 200 mm
Độ chính xác đo :
+ E1X,E1Y = (0.25+L/1000) µm
+ E1Z (hành trình 50 mm) = (1.0+2L/1000) µm
+ E1Z (Toàn bộ hành trình) = (1.5+2L/1000) µm
+ E2XY = (0.5+2L/1000)
Độ phân giải của tỷ lệ: 0.01 µm
Bộ phận chiếu sáng: Chiếu sáng đường viền: Halogen; Chiếu sáng mặt đứng: Halogen; PRL: Halogen
Hệ thống thay đổi độ khuếch đại: Mức năng lượng có thể lập trình 1X-2X-6X