Phạm vi đo (X×Y×Z): 600 x 650 x 250 mm
Tải tối đa: 50 kg
Cảm biến dịch chuyển tầm nhìn chung (X×Y×Z): 534 x 650 x 250
Khối lượng máy chính (Bao gồm cả đế phụ đặc biệt): 1465 kg
Độ chính xác đo tầm nhìn:
+ EUX,MPE/EUY,MPE>/sub> = (1.5+3L/1000) µm
+ EUZ,MPE = (1.5+4L/1000)µm
+ EUXY,MPE = (2+4L/1000)µm
Độ phân giải: 0.1 µm
Bộ chiếu sáng: Chiếu sáng đường viền: LED trắng Chiếu sáng bề mặt thẳng đứng: LED trắng PRL: LED trắng
Hệ thống thay đổi độ khuếch đại: Mức năng lượng có thể lập trình 1X-2X-6X
Chức năng bù nhiệt: Bằng tay